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文献
J-GLOBAL ID：200902111961525533
整理番号：96A0963707
Fully Self-Aligned 6F2 Cell Technology for Low Cost 1Gb DRAM.
AOKI M
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
OZAKI T
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
YAMADA T
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
KAWAGUCHIYA H
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
ISHIBASHI Y
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
HAMAMOTO T
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
資料名：
Digest of Technical Papers. Symposium on VLSI Technology
(Digest of Technical Papers. Symposium on VLSI Technology)
巻： 1996 ページ： 22-23 発行年： 1996年
JST資料番号： A0035B ISSN： 0743-1562 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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