文献
J-GLOBAL ID:200902112057433927
整理番号:93A0421135
AlGaAsの低圧有機金属気相エピタクシーにおけるトリメチルアミンアランの気相反応
Gas phase reactions of trimethylamine alane in low pressure organometallic vapor phase epitaxy of AlGaAs.
著者 (3件):
PITTS B L
(Cornell Univ., New York)
,
EMERSON D T
(Cornell Univ., New York)
,
SHEALY J R
(Cornell Univ., New York)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
62
号:
15
ページ:
1821-1823
発行年:
1993年04月12日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)