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文献
J-GLOBAL ID：200902112298659462
整理番号：97A0061310
UV laser activated digital etching of GaAs.
MEGURO T
(Inst. Physical and Chemical Res. (RIKEN), Saitama, JPN)
,
AOYAGI Y
(Inst. Physical and Chemical Res. (RIKEN), Saitama, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 2888 ページ： 88-95 発行年： 1996年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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