文献
J-GLOBAL ID:200902112522554353
整理番号:95A0877990
Development of an advanced mask and its fabrication system.
著者 (8件):
TAKIGAWA T
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
TOJO T
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
OGAWA Y
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
KOYAMA K
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
ONO A
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
INOUE S
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
ITO S
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
GOTO M
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
2512
ページ:
180-189
発行年:
1995年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)