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文献
J-GLOBAL ID：200902112616255783
整理番号：93A0220688
Fatigue of ferroelectric PbZrxTiyO3 capacitors with Ru and RuOx electrodes.
BERNSTEIN S D
(Raytheon Co., Massachusetts)
,
WONG T Y
(Raytheon Co., Massachusetts)
,
KISLER Y
(Raytheon Co., Massachusetts)
,
TUSTISON R W
(Raytheon Co., Massachusetts)
資料名：
Journal of Materials Research
(Journal of Materials Research)
巻： 8 号： 1 ページ： 12-13 発行年： 1993年01月
JST資料番号： D0987B ISSN： 0884-2914 CODEN： JMREEE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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