前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：200902113144031912
整理番号：98A0422022
光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法 (第7報) ウルトラクリーンルームでのSiウェーハ面の測定と微粒子測定表面評価
Particle size measuring method of nanometer order using the light-scattering method. (Report No. 7). Measurement of Si wafer surface in a ultra clean room and evaluation of surface for micro-particle measurement.
安弘
(大阪電通大 工)
,
佐々木都至
(大阪電通大 工)
,
谷口浩之
(大阪電通大 工)
,
森勇蔵
(大阪大 大学院)
,
片岡俊彦
(大阪大 大学院)
,
遠藤勝義
(大阪大 大学院)
,
山内和人
(大阪大 大学院)
,
井上晴行
(大阪大 大学院)
,
井山章吾
(大阪大 大学院)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1998 号： 春季 ページ： 674 発行年： 1998年03月
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。