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文献
J-GLOBAL ID：200902113453763308
整理番号：02A0542055
Brillouin光散乱と表面音波分光法で明らかにされたナノ多孔質低誘電率膜の臨界特性
Critical properties of nanoporous low dielectric constant films revealed by Brillouin light scattering and surface acoustic wave spectroscopy.
FLANNERY C M
(FG Nanoakustik, Berlin, DEU)
,
WITTKOWSKI T
(Univ. Kaiserslautern, Kaiserslautern, DEU)
,
JUNG K
(Univ. Kaiserslautern, Kaiserslautern, DEU)
,
HILLEBRANDS B
(Univ. Kaiserslautern, Kaiserslautern, DEU)
,
BAKLANOV M R
(XPEQT at IMEC, Leuven, BEL)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 80 号： 24 ページ： 4594-4596 発行年： 2002年06月17日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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