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文献
J-GLOBAL ID：200902113582358223
整理番号：01A0793023
SF6を含む誘導結合プラズマ中のイオンの組成とエネルギー
Ion compositions and energies in inductively coupled plasmas containing SF6.
GOYETTE A N
(National Inst. Standards and Technol., Maryland)
,
WANG Y
(National Inst. Standards and Technol., Maryland)
,
OLTHOFF J K
(National Inst. Standards and Technol., Maryland)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 19 号： 4,Pt.1 ページ： 1294-1297 発行年： 2001年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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