文献
J-GLOBAL ID:200902113631734813
整理番号:97A0953920
高電圧電子ビーム蒸発器上のアーク的なTi蒸気プラズマの特性評価
Characterization of arclike Ti vapor plasma on the high-voltage electron-beam evaporator.
著者 (1件):
KAJIOKA H
(Western Hiroshima Prefecture Industrial Res. Inst., Kure, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
15
号:
5
ページ:
2728-2739
発行年:
1997年09月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)