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J-GLOBAL ID：200902113765246041 整理番号：93A0781492

Laser-induced selective copper deposition on polyimides and semiconductors.

著者 (4件)：

HWANG S-D

(Syracuse Univ., New York)

KHER S S

(Syracuse Univ., New York)

SPENCER J T

(Syracuse Univ., New York)

DOWBEN P A

(Syracuse Univ., New York)

資料名：

Chemical Perspectives of Microelectronic Materials 3 (Chemical Perspectives of Microelectronic Materials 3)

ページ： 185-189 発行年： 1993年
JST資料番号： K19930443 ISBN： 1-55899-177-8 資料種別：会議録 (C)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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