文献
J-GLOBAL ID:200902113984299312
整理番号:97A0014677
感光性ポリイミドと電気めっき技術を用いたプレーナコイル(planar coil)の新しい製造プロセス
A new fabrication process of a planar coil using photosensitive polyimide and electroplating.
著者 (4件):
WATANABE Y
(Fuji Electric Corporate Res. and Dev., Ltd., Yokosuka City, JPN)
,
EDO M
(Fuji Electric Corporate Res. and Dev., Ltd., Yokosuka City, JPN)
,
NAKAZAWA H
(Fuji Electric Corporate Res. and Dev., Ltd., Yokosuka City, JPN)
,
YONEZAWA E
(Fuji Electric Corporate Res. and Dev., Ltd., Yokosuka City, JPN)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
54
号:
1/3
ページ:
733-738
発行年:
1996年06月
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)