文献
J-GLOBAL ID:200902114061045837
整理番号:97A0722328
負イオン注入における絶縁体のわずかに負の表面ポテンシャルとチャージング模型
Slightly negative surface potential and charging model of insulator in the negative-ion implantation.
著者 (4件):
TSUJI H
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
ISHIKAWA J
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
IKEDA S
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
GOTOH Y
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻:
127/128
ページ:
278-281
発行年:
1997年05月
JST資料番号:
H0899A
ISSN:
0168-583X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)