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文献
J-GLOBAL ID：200902114090816257
整理番号：96A1011808
液体源CVD法によるRu電極上に作製した(Ba,Sr)TiO3膜
(Ba, Sr)TiO3 Films Prepared by Liquid Source Chemical Vapor Deposition on Ru Electrodes.
KAWAHARA T
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
,
YAMAMUKA M
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
,
YUUKI A
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
,
ONO K
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 35 号： 9B ページ： 4880-4885 発行年： 1996年09月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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