文献
J-GLOBAL ID:200902114235385500
整理番号:94A0704940
3C-SiCへのW及びMo接触形成への金属仕事関数の影響
Effect of metal work function on the formation of W and Mo contacts to 3C-SiC.
著者 (5件):
JACOB C
(Case Western Reserve Univ., OH)
,
NISHINO S
(Case Western Reserve Univ., OH)
,
MEHREGANY M
(Case Western Reserve Univ., OH)
,
POWELL J A
(NASA Lewis Research Center, OH)
,
PIROUZ P
(Case Western Reserve Univ., OH)
資料名:
Institute of Physics Conference Series
(Institute of Physics Conference Series)
号:
137
ページ:
247-250
発行年:
1994年
JST資料番号:
E0403B
ISSN:
0305-2346
CODEN:
IPHSAC
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)