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文献
J-GLOBAL ID：200902114256125223
整理番号：93A0596446
Si(001)上への鉄シリサイドの形成
Formation of ironsilicide on Si(001).
KONUMA K
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
,
VRIJMOETH J
(FOM-Inst. Atomic and Molecular Physics, Amsterdam, NLD)
,
ZAGWIJN P M
(FOM-Inst. Atomic and Molecular Physics, Amsterdam, NLD)
,
VLIEG E
(FOM-Inst. Atomic and Molecular Physics, Amsterdam, NLD)
,
VAN DER VEEN J F
(FOM-Inst. Atomic and Molecular Physics, Amsterdam, NLD)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 70/71 号： Pt B ページ： 564-568 発行年： 1993年06月
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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