前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：200902114366837121
整理番号：01A0426405
ナノ技術のためのマイクロ加工されたツール 統合マイクロアクチュエータによる2組のナノプローブおよびナノスケール隙間制御
Micromachined Tools for Nano Technology. Twin Nano-Probes and Nano-Scale Gap Control by Integrated Microactuators.
KAKUSHIMA K
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
MITA M
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
KOBAYASHI D
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
,
HASHIGUCHI G
(Kagawa Univ., Kagawa, JPN)
,
ENDO J
(Hitachi LTD., Saitama, JPN)
,
WADA Y
(Hitachi LTD., Saitama, JPN)
,
FUJITA H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 14th ページ： 294-297 発行年： 2001年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。