文献
J-GLOBAL ID:200902114614129902
整理番号:03A0069836
集束イオンビーム支援化学蒸着により成長させた非晶質炭素ナノピラーに関する密度評価
Density estimation for amorphous carbon nanopillars grown by focused ion beam assisted chemical vapor deposition.
著者 (3件):
ISHIDA M
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
,
FUJITA J
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
,
OCHIAI Y
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
20
号:
6
ページ:
2784-2787
発行年:
2002年11月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)