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文献
J-GLOBAL ID：200902115272653805
整理番号：02A0680760
偏光解析法を用いたAgスパッタ薄膜の初期成長過程の考察
The Consideration on The Initial Growth Stage of Sputtered Ag Thin Films Observed by Ellipsometry.
清水英彦
(新潟大)
,
星陽一
(東京工芸大)
,
川畑州一
(東京工芸大)
資料名：
電気学会論文誌 A
(IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 122-A 号： 8 ページ： 755-760 発行年： 2002年08月01日
JST資料番号： S0808A ISSN： 0385-4205 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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