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文献
J-GLOBAL ID：200902115318256806
整理番号：96A0622614
気体クラスタイオン衝撃により形成される損傷の研究
Investigation of damage formation by gas cluster ion bombardment.
MATSUO J
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
TAKEUCHI D
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
KITAI A
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
YAMADA I
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 112 号： 1/4 ページ： 89-93 発行年： 1996年05月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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