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文献
J-GLOBAL ID：200902115387271396
整理番号：96A0864738
RFマグネトロンスパッタリングにおけるBi2Sr2Can-1CunOy超伝導膜の成長に及ぼすO2+,O+の効果
Effect of O2+ and O+ on the Growth of Bi2Sr2Can-1CunOy Superconducting Films in RF Magnetron Sputtering.
HARADA K
(Tottori Univ., Tottori, JPN)
,
KISHIDA S
(Tottori Univ., Tottori, JPN)
,
MATSUOKA T
(Tottori Univ., Tottori, JPN)
,
MARUYAMA T
(Tottori Univ., Tottori, JPN)
,
TOKUTAKA H
(Tottori Univ., Tottori, JPN)
,
FUJIMURA K
(Tottori Univ., Tottori, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 35 号： 8 ページ： 4297-4301 発行年： 1996年08月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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