文献
J-GLOBAL ID:200902115688372686
整理番号:02A0442236
方位角方向に対称な表面波で励起したマイクロ波プラズマ源中の電磁場の数値解析
Numerical Analysis of the Electromagnetic Fields in a Microwave Plasma Source Excited by Azimuthally Symmetric Surface Waves.
著者 (2件):
KOUSAKA H
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
ONO K
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
41
号:
4A
ページ:
2199-2206
発行年:
2002年04月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)