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J-GLOBAL ID：200902115868776572 整理番号：97A0870837

低価格HARMSプロセス

Low-cost HARMS process.

著者 (3件)：

BISCHOFBERGER R

(Neu-Technikum Buchs(NTB), Buchs, CHE)

ZIMMERMANN H

(Neu-Technikum Buchs(NTB), Buchs, CHE)

STAUFERT G

(Neu-Technikum Buchs(NTB), Buchs, CHE)

資料名：

Sensors and Actuators. A. Physical (Sensors and Actuators. A. Physical)

巻： A61 号： 1/3 ページ： 392-399 発行年： 1997年06月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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