文献
J-GLOBAL ID:200902115967113615
整理番号:99A0793997
ナノメータスケール図形形成のためのリソグラフィックイメージング法
Lithographic Imaging Techniques for the Formation of Nanoscopic Features.
著者 (2件):
WALLRAFF G M
(IBM Almaden Res. Center, California)
,
HINSBERG W D
(IBM Almaden Res. Center, California)
資料名:
Chemical Reviews
(Chemical Reviews)
巻:
99
号:
7
ページ:
1801-1821
発行年:
1999年07月
JST資料番号:
B0256A
ISSN:
0009-2665
CODEN:
CHREAY
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)