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文献
J-GLOBAL ID：200902116040699180
整理番号：99A0245607
陽極処理で形成されたシリコンチップからなるマイクロカンチレバーの製作
Fabrication of Microcantilever with a Silicon Tip Prepared by Anodization.
HIGA K
(Kyushu Inst. Technol., Fukuoka, JPN)
,
ASANO T
(Kyushu Inst. Technol., Fukuoka, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 37 号： 12B ページ： 7078-7080 発行年： 1998年12月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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