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文献
J-GLOBAL ID：200902116539981773
整理番号：00A1021296
Realization of very-small aberration projection lenses.
YOSHIHARA T
(Canon Inc., Tochigi-ken, JPN)
,
KOIZUMI R
(Canon Inc., Tochigi-ken, JPN)
,
TAKAHASHI K
(Canon Inc., Tochigi-ken, JPN)
,
SUDA S
(Canon Inc., Tochigi-ken, JPN)
,
SUZUKI A
(Canon Inc., Tochigi-ken, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 4000 号： Pt.1 ページ： 559-566 発行年： 2000年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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