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文献
J-GLOBAL ID：200902116638642450
整理番号：97A0086699
Czochralski成長後未処理のSi結晶中の“IR散乱欠陥”の透過型電子顕微鏡による観察
Transmission Electron Microscope Observation of “IR Scattering Defects” in As-Grown Czochralski Si Crystals.
KATO M
(Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Gunma, JPN)
,
YOSHIDA T
(Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Gunma, JPN)
,
IKEDA Y
(Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Gunma, JPN)
,
KITAGAWARA Y
(Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Gunma, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 35 号： 11 ページ： 5597-5601 発行年： 1996年11月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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