文献
J-GLOBAL ID:200902116689909906
整理番号:01A0233149
レーザビームとSQUID磁束計を組み合わせた新しい非破壊・非接触チップ検査・解析技術 走査レーザSQUID顕微鏡
Novel nondestructive and non-contact chip inspection and analysis technique - Scanning laser-SQUID microscopy.
著者 (2件):
二川清
(NEC)
,
井上彰二
(情報技術開発)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
100
号:
488(ICD2000 174-178)
ページ:
1-8
発行年:
2000年12月08日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)