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J-GLOBAL ID：200902116829876698 整理番号：93A0674124

有機酸系エッチングにおけるGaAs/AlGaAs選択比のpH依存性

pH Dependence of GaAs/AlGaAs Selectivity in Organic Acid-Based Etching.

著者 (4件)：

北野俊明

(三菱電機光・マイクロ波デバイス研)

和泉茂一

(三菱電機光・マイクロ波デバイス研)

生和義人

(三菱電機光・マイクロ波デバイス研)

高野博三

(三菱電機光・マイクロ波デバイス研)

資料名：

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)

巻： 40th 号： Pt 3 ページ： 1292 発行年： 1993年03月
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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