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文献
J-GLOBAL ID：200902116984171749
整理番号：93A0424280
種々のスパッタ圧でのdc反応性マグネトロンスパッタで蒸着した酸化チタン膜
Investigations of titanium oxide films deposited by d.c. reactive magnetron sputtering in different sputtering pressures.
MENG L-J
(Univ. Minho, Braga, PRT)
,
DOS SANTOS M P
(Univ. Minho, Braga, PRT)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 226 号： 1 ページ： 22-29 発行年： 1993年04月15日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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