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文献
J-GLOBAL ID：200902117152248926
整理番号：99A0662241
100MHz領域で作動する走査型力顕微鏡に使うシリコン基ナノメータ振動子
A Silicon Based Nanometric Oscillator for Scanning Force Microcopy Operating in the 100 MHz Range.
KAWAKATSU H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
TOSHIYOSHI H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
SAYA D
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
FUJITA H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 38 号： 6B ページ： 3962-3965 発行年： 1999年06月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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