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文献
J-GLOBAL ID：200902117156529288
整理番号：98A0605328
プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断VI 6.表面波プラズマ
Production and Diagnostics of New High-Density Plasmas for Processing VI. 6. Surface Wave Plasmas.
永津雅章
(名古屋大 大学院)
,
菅井秀郎
(名古屋大 大学院)
資料名：
プラズマ・核融合学会誌
(Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 74 号： 5 ページ： 479-490 発行年： 1998年05月
JST資料番号： G0114A ISSN： 0918-7928 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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