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文献
J-GLOBAL ID：200902117188769159
整理番号：99A0948326
電場中でのイオン化前駆体の運動制御による薄膜形成
Film formation by motion control of ionized precursors in electric field.
ADACHI M
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
FUJIMOTO T
(Hiroshima Univ., Hiroshima, JPN)
,
NAKASO K
(Hiroshima Univ., Hiroshima, JPN)
,
OKUYAMA K
(Hiroshima Univ., Hiroshima, JPN)
,
SHI F G
(Univ. California, California)
,
SATO H
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
ANDO T
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
TOMIOKA H
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 75 号： 13 ページ： 1973-1975 発行年： 1999年09月27日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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