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文献
J-GLOBAL ID：200902117305745975
整理番号：02A0555278
R-サファイア上の(11<span style=text-decoration:overline>2</span>0)面エピタキシャル酸化亜鉛膜で作られたせん断バルク波変換器
Ultrasonic Electronics. Shear Bulk Wave Transducer Made of (11<span style=text-decoration:overline>2</span>0)-Plane Epitaxial ZnO Film on R-Sapphire.
KADOTA M
(Murata Mfg. Co., Ltd., Kyoto, JPN)
,
MIURA T
(Murata Mfg. Co., Ltd., Kyoto, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 41 号： 5B ページ： 3281-3284 発行年： 2002年05月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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