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文献
J-GLOBAL ID：200902117521941380
整理番号：98A0669488
窒素を含む炭素薄膜作製のための多重毛細管励起ビーム源の応用
An application of multicapillary excited beam source to fabricate nitrogen-containing carbon thin films.
OKAMOTO A
(Technol. Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN)
,
NOSAKA T
(Technol. Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN)
,
YOSHITAKE M
(Technol. Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN)
,
OGAWA S
(Technol. Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN)
資料名：
Materials Chemistry and Physics
(Materials Chemistry and Physics)
巻： 54 号： 1/3 ページ： 251-254 発行年： 1998年07月
JST資料番号： E0934A ISSN： 0254-0584 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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