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文献
J-GLOBAL ID：200902117596736455
整理番号：96A0867282
ICマイクロトランスデューサの将来
Future of IC microtransducers.
BALTES H
(ETH Zurich, Zurich, CHE)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 56 号： 1/2 ページ： 179-192 発行年： 1996年08月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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