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文献
J-GLOBAL ID：200902117813110586
整理番号：02A0466498
SiOCH系Low-k材料のエッチング機構解析 (2) 構造による加工特性の違いについて
辰巳哲也
(ソニー)
,
白井誠三
(ソニー)
,
長畑和典
(ソニー)
,
南正樹
(ソニー)
,
森田靖
(ソニー)
,
浦田圭介
(ソニー・コンピュータエンタテインメント)
,
佐藤孝幸
(ソニー・コンピュータエンタテインメント)
,
野上洋一
(ソニー・コンピュータエンタテインメント)
,
山根徹也
(ソニー・コンピュータエンタテインメント)
資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集
(Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 49th 号： 2 ページ： 756 発行年： 2002年03月27日
JST資料番号： Y0054A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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