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文献
J-GLOBAL ID：200902117824548486
整理番号：01A0672602
局所清浄化に関する研究 その7 ウェーハ搬送容器周りじんあい拡散低減方法の検討
Study on local cleaning system in clean room (7)-A method of particles contamination reduction in 300mm FOUP.
南輝雄
(日立プラント建設)
,
後藤田龍介
(日立プラント建設)
,
高橋稔
(日立プラント建設)
,
平田順太
(日立プラント建設)
,
小林義明
(日立)
資料名：
空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集
(空気清浄とコンタミネーションコントロール研究に関する技術研究大会予稿集)
巻： 19th ページ： 83-85 発行年： 2001年04月18日
JST資料番号： Y0789A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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