文献
J-GLOBAL ID:200902118078913269
整理番号:02A0063742
材料除去率と不均質性に対するポリッシングパラメータの影響の研究
A study of the effects of polishing parameters on material removal rate and non-uniformity.
著者 (2件):
LIN S-C
(National Tsing-Hua Univ., Hsin-Chu, TWN)
,
WU M-L
(National Tsing-Hua Univ., Hsin-Chu, TWN)
資料名:
International Journal of Machine Tools & Manufacture
(International Journal of Machine Tools & Manufacture)
巻:
42
号:
1
ページ:
99-103
発行年:
2002年01月
JST資料番号:
C0568A
ISSN:
0890-6955
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)