文献
J-GLOBAL ID:200902118327336471
整理番号:02A0765782
シリコン基板上のアルミニウム,銅,および金薄膜の定量電子マイクロプローブ分析
Quantitative electron microprobe analysis of aluminum, copper, and gold thin films on silicon substrates.
著者 (4件):
YASUDA M
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
YAMAUCHI S
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
KAWATA H
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
MURATA K
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
92
号:
6
ページ:
3404-3409
発行年:
2002年09月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)