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文献
J-GLOBAL ID：200902118358605772
整理番号：97A0955180
電子ビーム観察用の検査パッドの自動配置
Automated placement of testing pads for electron-beam observation.
KUJI N
(NTT System Electronics Lab., Kanagawa, JPN)
,
TAKEDA T
(NTT System Electronics Lab., Kanagawa, JPN)
資料名：
Microelectronics Reliability
(Microelectronics Reliability)
巻： 37 号： 10/11 ページ： 1565-1568 発行年： 1997年10月
JST資料番号： C0530A ISSN： 0026-2714 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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