文献
J-GLOBAL ID:200902118676838271
整理番号:93A0592158
しきい値付近におけるイオン誘起脱着
Ion-induced desorption in the near-threshold regime.
著者 (3件):
YAMAMURA Y
(Okayama Univ. Science, Okayama, JPN)
,
TAKIGUCHI T
(Okayama Univ. Science, Okayama, JPN)
,
KIMURA H
(Tokyo Electron Ltd., Yamanasi, JPN)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻:
78
号:
1/4
ページ:
337-341
発行年:
1993年05月
JST資料番号:
H0899A
ISSN:
0168-583X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)