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文献
J-GLOBAL ID：200902118682993157
整理番号：94A0130343
A monitor wafer based controller for PECVD silicon nitride process on AMT 5000.
MOZUMDER P K
(Texas Instruments, TX)
,
SAXENA S
(Texas Instruments, TX)
,
COLLINS D
(Carnegie Mellon Univ., PA)
資料名：
ASMC ’93 Proceedings
(ASMC '93 Proceedings)
ページ： 136-141 発行年： 1993年
JST資料番号： K19940061 ISBN： 0-7803-1367-4 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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