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文献
J-GLOBAL ID：200902119203216903
整理番号：01A0448800
i-C4H10/N2スーパーマグネトロンプラズマを用いた電気伝導性ダイヤモンド状カーボン薄膜の調製
Preparation of electrically conductive diamond-like carbon films using i-C4H10/N2 supermagnetron plasma.
KINOSHITA H
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
HANDO T
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
YOSHIDA M
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 89 号： 5 ページ： 2737-2741 発行年： 2001年03月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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