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J-GLOBAL ID：200902119345800114 整理番号：99A0939352

XPSで調べたRu薄膜とRuO₂薄膜

Ru and RuO₂ Thin Films by XPS.

著者 (5件)：

KAGA Y

(Kitami Inst. Technol., JPN)

ABE Y

(Kitami Inst. Technol., JPN)

YANAGISAWA H

(Kitami Inst. Technol., JPN)

KAWAMURA M

(Kitami Inst. Technol., JPN)

SASAKI K

(Kitami Inst. Technol., JPN)

資料名：

Surface Science Spectra (Surface Science Spectra)

巻： 6 号： 1 ページ： 68-74 発行年： 1999年
JST資料番号： W0429A ISSN： 1055-5269 CODEN： SSSPEN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：データシートなど発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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XPSで調べたRu薄膜とRuO2薄膜

XPSで調べたRu薄膜とRuO₂薄膜