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文献
J-GLOBAL ID：200902119440699463
整理番号：94A0622577
超大規模集積デバイスの破壊分析用の光学ビーム誘起電流法
Optical Beam Induced Current Techniques for Failure Analysis of Very Large Scale Integrated Circuits Devices.
KOMODA H
(Ricoh Co., Ltd., Osaka)
,
SHIMIZU K
(Ricoh Co., Ltd., Osaka)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 33 号： 6A ページ： 3393-3401 発行年： 1994年06月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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