文献
J-GLOBAL ID:200902119630150689
整理番号:99A0855652
標準の直接校正を行う実時間,干渉測定用原子間力顕微鏡
Real-time, interferometrically measuring atomic force microscope for direct calibration of standards.
著者 (8件):
GONDA S
(National Res. Lab. Metrology, Tsukuba, JPN)
,
DOI T
(National Res. Lab. Metrology, Tsukuba, JPN)
,
KUROSAWA T
(National Res. Lab. Metrology, Tsukuba, JPN)
,
TANIMURA Y
(National Res. Lab. Metrology, Tsukuba, JPN)
,
HISATA N
(Olympus Optical Co., Ltd., Tokyo, JPN)
,
YAMAGISHI T
(Olympus Optical Co., Ltd., Tokyo, JPN)
,
FUJIMOTO H
(Olympus Optical Co., Ltd., Tokyo, JPN)
,
YUKAWA H
(Olympus Optical Co., Ltd., Tokyo, JPN)
資料名:
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻:
70
号:
8
ページ:
3362-3368
発行年:
1999年08月
JST資料番号:
D0517A
ISSN:
0034-6748
CODEN:
RSINAK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)