文献
J-GLOBAL ID:200902119804015050
整理番号:99A0969613
二周波数容量結合プラズマの二次元CT画像
Two-dimensional CT images of two-frequency capacitively coupled plasma.
著者 (3件):
KITAJIMA T
(Keio Univ., Yokohama, JPN)
,
TAKEO Y
(Keio Univ., Yokohama, JPN)
,
MAKABE T
(Keio Univ., Yokohama, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
17
号:
5
ページ:
2510-2516
発行年:
1999年09月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)