文献
J-GLOBAL ID:200902120135395410
整理番号:02A0462081
低真空中の陰極点の洗浄作用に及ぼす圧力の影響
Effects of pressure on the cleaning action of cathode spot in low vacuum.
著者 (2件):
TAKEDA K
(Akita Prefectural Univ., Akita, JPN)
,
TAKEUCHI S
(Nippon Steel Corp., Chiba, JPN)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
407
号:
1/2
ページ:
163-168
発行年:
2002年03月22日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)