文献
J-GLOBAL ID:200902120157323129
整理番号:96A0520937
偏光変調した透過スペクトル偏光解析法
Polarization modulated transmission spectro-ellipsometry.
著者 (2件):
FUKAZAWA T
(JASCO Corp., Tokyo, JPN)
,
FUJITA Y
(Tokyo Metropolitan Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名:
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻:
67
号:
5
ページ:
1951-1955
発行年:
1996年05月
JST資料番号:
D0517A
ISSN:
0034-6748
CODEN:
RSINAK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)