文献
J-GLOBAL ID:200902120323553120
整理番号:93A0597490
rf駆動シラン放電における電力散逸機構
Power dissipation mechanisms in radio-frequency driven silane discharges: The influence of discharge geometry.
著者 (3件):
MATARAS D
(Univ. Patras, Patras, GRC)
,
CAVADIAS S
(Univ. Patras, Patras, GRC)
,
RAPAKOULIAS D
(Univ. Patras, Patras, GRC)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
11
号:
3
ページ:
664-671
発行年:
1993年05月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)